BELFOR 的工具/設備一站式除污解決方案,提供的服務範圍包括:
Contami污染評估
BELFOR 將審查標的工具/設備於製程所使用的氣體和化學品、工具/設備運作狀態以及支援文件(若有); 以確定可能存在的污染物。
工具/設備除污
BELFOR 將根據 OEM 的書面程序(若有)對工具/設備/輔助支援設施進行除污,以滿足 SEMI 的指南標準。精密除污工作完成後,將對淨化過的設備/設施進行評估,BELFOR 將以潔淨度聲明文件的形式記錄完工檢驗結果。
零件除污
隨著技術的進步和關鍵電路尺寸的縮小,用於製造優質產品的設備零件和相關組件的潔淨度變得越來越重要。
BELFOR 提供一系列設備零件和相關組件的除污解決方案,使晶圓製造業能夠外包這項重要且關鍵的工作。
吊裝、封箱和運輸服務
BELFOR 可以提供一條龍服務,包括工具/設備的組裝、封箱和運輸。 這些服務由 BELFOR 的物流合作夥伴在一站式除污套裝中被提供。
運輸法規合規性
已經暴露於製程氣體、化學物質和其他殘留物的半導體工具/設備和相關零件可能需在全球之間運輸。 通常,當工具/設備/相關組件在組織內部移動或被移動和/或出售到備用單位,這種情況就會發生。
受製程污染的工具/設備/相關組件在運輸過程中和到達最終目的地時可能會附帶相當大的安全風險。 因此,鑑於日趨嚴格的運輸法規要求,這些往往被視為危險貨物(危險品),並產生較高的運輸成本。
BELFOR 提供上述一站式除污解決方案來評估、淨化、提供證明,向貨運代理、運輸監管機構和接收工具/設備/相關組件的一方聲明工具/設備/相關組件的狀態,這符合SEMI S12 指南的現行修訂版。
客戶現在可以在全球範圍內除污淨化並運輸其半導體工具/設備、知道 ii 是安全的、而且符合相關法規。