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반도체 제조 공정 중 유독성 화학물질 부산물이 생성되어 반도체 툴의 프로세스 챔버 내에 축적되는 경우가 종종 있습니다. 반도체 산업의 파트너인 BELFOR는 화학물질 및 유독성 물질로 오염된 부품에 대한 특수 오염 제거 서비스를 제공합니다.
반도체 툴을 이전해야 하는 경우, 국제운송규칙에 의거하여 모든 유독성, 유해성 화학물질 및 축적물이 제거됐다는 인증서를 제출해야 합니다. BELFOR는 운송 규정 준수 인증 및 오염 제거 서비스(Shipping Compliance Certification and Decontamination service, SCD)를 제공합니다. 툴을 포장해서 운송하기 전에 화학적 오염을 제거하고 해당 툴을 이송하는 데 안전상의 문제가 없음을 보증하기 위해 툴 상태를 인증합니다.