Équipement semi-conducteur et décontamination

BELFOR a été pionnier dans la décontamination et la récupération réussies d’équipements techniques de tous types, principalement à la suite d’événements de contamination causés par des incendies, des inondations, des infiltrations d’eau, des déversements de produits chimiques, etc. BELFOR utilise des procédures de décontamination, évalue et organise le transport des équipements semi-conducteurs dans le monde entier, donnant aux clients l’assurance que cela est effectué en toute sécurité et dans le respect des réglementations applicables. BELFOR possède les compétences et les pratiques nécessaires pour gérer les activités de maintenance préventive et corrective tout au long du processus de décontamination des installations de semi-conducteurs — et pour les remettre en fonctionnement normal dès que possible après une crise. BELFOR possède une expertise spécifique dans la décontamination des équipements semi-conducteurs « front-end » et « back-end ». À l’aide de diverses techniques telles que la détection de gaz et l’analyse d’échantillons par frottis de surface, BELFOR peut identifier la source de contamination et effectuer des processus de décontamination pour éliminer les contaminants dangereux des équipements et des outils.

BELFOR peut fournir des services complets de déclassement de l’eau, y compris l’évaluation et la décontamination de tous les équipements et outils. En règle générale, la gamme de services liés au processus de décontamination peut inclure:

• Évaluation de la contamination des équipements
• Décontamination des équipements
• Enlèvement, décontamination et élimination des lignes antérieures, des lignes d’échappement, des conduits, etc.
• Montage des équipements depuis la salle blanche
• Mise en caisse et transport du matériel
• Décontamination des installations/services publics

Les équipements semi-conducteurs contaminés peuvent présenter un risque considérable pour la sécurité et doivent être traités comme une cargaison dangereuse. BELFOR peut évaluer et commencer les procédures de décontamination de l’équipement avant le déménagement, et fournir une documentation déclarant l’état de l’équipement aux transitaires, aux autorités de réglementation des transports et à la partie recevant l’équipement.

BELFOR a réalisé un large éventail de projets de décontamination d’équipements de semi-conducteurs, ainsi que plusieurs projets majeurs de reprise après sinistre d’usines de semi-conducteurs dans le monde entier. Certaines de nos expériences spécifiques en matière d’équipement comprennent :

• Systèmes chimico-mécaniques planaires (CMP)
• Systèmes de dépôt chimique en phase vapeur (CVD, Inc., PECVD et SACVD)
• Fours (nitrure, poly, oxyde)
• Panneaux de contrôle du gaz
• Implantateurs d’ions
• Systèmes de métrologie
• Systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
• Sécheuses à essorage/rinçage
• Steppers
• Systèmes d’emballage de plaquettes
• Utilitaires communs et systèmes de support